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Horiba SEC-Z700質量流量計SEC-Z714MGX-CS屬于高性能數字式質量流量控制器,是半導體中設備CVD機臺、Etch機臺中的氣體控制核心部件
Horiba質量流量計D500系列具有壓力非敏感性,自帶顯示功能,控制范圍廣,可應對多種氣體、多種量程、不同壓力條件,適用于高精工藝需求。
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