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GR312F、GR314F、GR317F、GR511F、GR-224FD$nHoriba 壓力控制器GR-312F GR-314F GR-317F是GR-300系列中的暢銷產品,實現晶圓背面氣體的壓力控制器,該氣體用于冷卻晶圓表面溫度。$n常用氣體是氦氣和氬氣。$nGR312F壓力控制器是0-5V或者RS485通訊,可以選擇GR317F,實現EtherCAT通訊。
更新日期:2025-04-01晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F GR312F,熱門型號是GR-511F,又稱壓力自動調節閥, 用于半導體晶圓生產中晶圓背面壓力的控制器,實現冷卻系統的冷卻功能。
更新日期:2025-02-20UR-Z712M-B是horiba數字式壓力控制器壓力調節閥中的暢銷款,$n控制該壓力控制器前端的壓力。$n$n控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar, 數字通訊;$n主要功能消除后端壓力波動對前端腔體壓力的影響(入口控制型)。
更新日期:2025-04-01UR-Z714M-B是horiba數字式壓力控制器UR-Z714M IGS 14W3中的暢銷款, 模塊化的IGS接口形式。 控制該壓力控制器前端的壓力。 多用于消除后端壓力波動對前端腔體壓力的影響,又被稱為:入口控制型。 控制壓力范圍20-950KPa, Devicenet數字通訊 接口IGS IGS 14W3
更新日期:2025-03-02UR-Z734M-B是horiba數字式壓力控制器UR-Z734中的暢銷款,控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar, Devicenet數字通訊 消除后端壓力波動對前端腔體壓力的影響(入口控制型)
更新日期:2025-03-02UR-Z724M-B是horiba數字式壓力控制器UR-Z724中的暢銷款,控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar, Devicenet數字通訊 消除后端壓力波動對前端腔體壓力的影響(入口控制型)
更新日期:2025-03-02UR-Z714M-B是horiba數字式壓力控制器壓力調節閥UR-Z714 中的暢銷款,控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar Devicenet數字通訊 消除后端壓力波動對前端腔體壓力的影響(入口控制型)
更新日期:2025-03-02UR-Z712M-B是horiba數字式壓力控制器UR-Z712中的暢銷款,控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar, 數字通訊; 消除后端壓力波動對前端腔體壓力的影響(入口控制型)。
更新日期:2025-03-02UR-Z732M-B控制該壓力控制器前端的壓力。 horiba數字式壓力控制器UR-Z732MB 控制壓力范圍10-500KPa, 數字通訊 消除后端壓力變動對前端腔體壓力的影響(入口控制型)
更新日期:2025-03-02UR-Z722M-B是horiba數字式壓力控制器UR-Z700中的暢銷款,控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar, 數字通訊 消除大流量氣路切換引起的串擾影響(出口控制型)
更新日期:2025-03-02